Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor

Nguyen, Vu Hoa (Corresponding author); Kaulen, C.; Simon, Ulrich; Schnakenberg, Uwe

Berlin : VDE VERLAG (2017)
Contribution to a book, Contribution to a conference proceedings

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme" : proceedings: 23.-25. Oktober 2017 in München, INFINITY Unterschleißheim / Organisatoren: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM); VDI/VDE Innovation + Technik GmbH (VDI/VDE-IT)
Page(s)/Article-Nr.: 638-640

Institutions

• Department of Chemistry [150000]
• Chair of Inorganic Chemistry and Electrochemistry [151310]
• Chair of Materials in Electrical Engineering I and Institute of Materials in Electrical Engineering [611510]