Thinned capacitive pressure sensors in flexible and stretchable extra soft substrates for tactile sensing; Studies on output signal bending dependence

Fischer, Ronald; Weichsel, L.; Görtz, M.; Mokwa, Wilfried

Berlin : VDE VERLAG (2017)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: MikroSystemTechnik Kongress 2017 : MEMS, Mikroelektronik, Systeme 23.-25. Oktober 2017 in München