Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition

Gembaczka, P. (Corresponding author); Görtz, M.; Celik, Y.; Jupe, A.; Stühlmeyer, M.; Goehlich, A.; Vogt, H.; Mokwa, Wilfried; Kraft, M.

Göttingen : Copernicus Publ. (2014)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of sensors and sensor systems : JSSS
Band: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 335-347