Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMS-Drucksensoren

Görtz, Michael; Betz, W.; Mokwa, Wilfried; Vogt, H.; Kraft, M.

Berlin [u.a.] : VDE-Verl. (2013)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Von Bauelementen zu Systemen : Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings / Veranst.: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... Organisatoren: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) ... Chairman: Wilfried Mokwa ...
Seite(n)/Artikel-Nr.: 586-587

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