Iridium oxide deposited by pulsed dc-sputtering for stimulation electrodes

van Ooyen, André; Topalov, Georgi; Ganske, Gerald; Mokwa, Wilfried; Schnakenberg, Uwe

Bristol : IOP Publ. (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of micromechanics and microengineering
Band: 19
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 074009

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