Herstellungsprozesse für siliziumbasierte Mikrosysteme

 

Dozent

Prof. Dr. rer. nat. Wilfried Mokwa

 

Inhalt der Vorlesung

Die Vorlesung „Herstellungsprozesse für siliziumbasierte Mikrosysteme“ soll die Grundlagen zu Prozessschritten der Mikrosystemtechnik sowie der Mikro- und Nanoelektronik vermitteln. Eine umfassende Darstellung der gebräuchlichsten Verfahren steht hierbei im Vordergrund.

 

Sie sollen bei dieser Veranstaltung:

  • Silizium als Werkstoff kennenlernen
  • Basiswissen zu Prozessschritten wie Lithographie, Schichtherstellung und Strukturierung erwerben
  • die Techniken der Oberflächen- und Volumenmikromechanik sowie das Ligaverfahren als Basistechniken der Mikrosystemtechnik kennenlernen
  • die speziell für die Mikrosystemtechnik benötigte Aufbau- und Verbindungstechnik erarbeiten
  • Einblick in den Aufbau und in die Funktionsweise der für die Prozesse benötigten Maschinen und Geräte bekommen
  • in Übungen ihr Verständnis vertiefen
 

Themen der Vorlesung

  • Silizium als Werkstoff
  • Reinraumtechnik
  • Vakuumtechnik
  • Oxidation, Ionenimplantation, Rapid Thermal Processing
  • Lithographie
  • Plasmaphänomene
  • Strukturierung
  • Schichtherstellung
  • Oberflächen- und Volumenmikromechanik
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Molded Interconnect Device (MID)
 

Prüfung

Schriftlich

 

Empfohlene Literatur

  • W. Menz, P. Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure" VCH-Verlagsgesellschaft
  • T. Elbel "Mikrosensorik" Studium Technik
  • S. M. Sze "Physics of Semiconductor Devices" John Wiley & Sons
  • S. M. Sze "VLSI Technology" Mac Graw Hill
  • Heuberger "Mikromechanik" Springer-Verlag
  • S. Büttgenbach "Mikromechanik" Teubner Studienbücher
  • M. Madou "Fundamentals of Microfabrications" CRC Press
  • U. Hilleringmann "Mikrosystemtechnik auf Silizium" B. G. Teubner Stuttgart
  • M. Elwenspoek "Silicon Micromachining" Cambridge Univ. Pr.
  • G. Schumicki "Prozesstechnologie" Springer-Verlag
  • H. Xiao, "Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology" Prentice Hall
  • G. Gerlach, W. Dötzel, "Einführung in die Mikrosystemtechnik" Carl Hanser Verlag
  • N. Schwesinger, C. Dehne, F. Adler, "Lehrbuch der Mikrosystemtechnik" Oldenburg Wissenschaftsverlag