In-plane Thermal Diffusivity Measurement of a Suspended SiNx Membrane by Temperature Wave Analysis

Jiang, Felix; Ryu, Meguya; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang; Morikawa, Junko

(2023)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: [The 70th JSAP Spring Meeting 2023, JSAP Spring 2023, 2023-03-15 - 2023-03-18, Tokyo, Japan]

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]