In-plane thermal diffusivity measurement of Parylene C thin film with an RTD sensor array on a SiNx membrane

Jiang, Felix; Schaller, Laura; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

(2022)
Poster

In: 9. GMM-Fachtagung "Mikro-Nano-Integration" Aachen 2022-11-21 - 2022-11-22

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]