In-plane thermal property measurements of Parylene C thin films with an RTD sensor array on a SiNx membrane

Jiang, Felix; Schaller, Laura; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

(2022)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: [9. GMM-Fachtagung "Mikro-Nano-Integration", MNI, 2022-11-21 - 2022-11-22, Aachen, Germany]

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]