In-plane thermal diffusivity measurement of Parylene C thin films by temperature wave analysis with an RTD sensor array on a suspended SiNx thin film

Jiang, Felix; Schaller, Laura; Ryu, Meguya; Morikawa, Junko; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

(2022)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: [(VIACTA2022)-9th International and 11th Japan — China Joint Symposium on Calorimetry and Thermal Analysis (CATS-2022), VIACTA2022, 2022-10-25 - 2022-10-26, Tokyo, Japan]

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]