Apparent thermal diffusivity of heat guiding photoresist microstructures on a suspended SiNx membrane

Jiang, Felix; Ryu, Meguya; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang; Morikawa, Junko

(2022)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: [The 58th Japanese Conference on Calorimetry and Thermal Analysis, 58TOURON, 2022-10-26 - 2022-10-28, Tokyo, Japan]

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]