MEMS for characterization of thermal conductivity in thin films and two-dimensional materials

Jiang, Felix; Ryu, M.; Morikawa, J.; Pachauri, Vivek; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang

Berlin : VDE Verlag (2021, 2022)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: MikroSystemTechnik Kongress 2021 : Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte : 08.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg
Seite(n)/Artikel-Nr.: 278-281