Process Variability in Top-Down Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor Arrays

Tintelott, Marcel; Pachauri, Vivek; Ingebrandt, Sven; Vu, Xuan Thang (Corresponding author)

Basel : MDPI (2021)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Sensors
Band: 21
Heft: 15
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5153

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
• Lehrstuhl für Mikro- und Nanosysteme und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [612510]