Wafer-scale fabrication of microelectrode arrays on optically transparent polymer foils for the integration of flexible nanoscale devices
Munief, Walid-Madhat; Lanche, Ruben; Lu, Xiaoling; Ingebrandt, Sven; Pachauri, Vivek (Corresponding author)
Philadelphia, PA : IOP Publishing (2018)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel
In: Flexible and printed electronics
Band: 3
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 044001
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1088/2058-8585/aae3b6
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2018-230842