Wafer-Scale Nanoimprint Lithography Process Towards Complementary Silicon Nanowire Field-Effect Transistors for Biosensor Applications

Müller, Achim; Vu, Xuan Thang; Pachauri, Vivek; Francis, Laurent A.; Flandre, Denis; Ingebrandt, Sven

Weinheim : Wiley-VCH (2018)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Physica status solidi / A
Band: 215
Heft: 15
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1800234

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]