Six-layer lamination of a new dry film negative-tone photoresist for fabricating complex 3D microfluidic devices

El Hasni, Akram (Corresponding author); Pfirrmann, Stefan; Kolander, Anett; Yacoub-George, Erwin; König, Martin; Landesberger, Christof; Voigt, Anja; Grützner, Gabi; Schnakenberg, Uwe

Heidelberg : Springer (2017)
Fachzeitschriftenartikel

In: Microfluidics and nanofluidics
Band: 21
Seite(n)/Artikel-Nr.: 41

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]