Iridium oxide deposited by pulsed DC-sputtering for stimulation electrodes

van Ooyen, André; Topalov, Georgi; Schnakenberg, Uwe

Aachen : Inst. of Materials in Electrical Engineering 1 (2008)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Technical digest / MME 2008, 19th MicroMechanics Europe Workshop : September 28 - 30, 2008, Aachen, Germany / [Uwe Schnakenberg, chairman]
Seite(n)/Artikel-Nr.: 117-120

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]