Einsatz flexibler kapazitiver Drucksensoren in intelligenten Implantaten

• Flexible capacitive pressure sensors in intelligent implants

Müntjes, Jutta A.; Mokwa, Wilfried (Thesis advisor); Kraft, Michael (Thesis advisor)

Aachen : Publikationsserver der RWTH Aachen University (2016)
Doktorarbeit

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2015

Kurzfassung

Drucksensorimplantate für die drahtlose medizinische Überwachung von Herzinsuffizienz- oder Hypertoniepatienten können während der Herstellung oder Implantation in den Körper bei unzureichender Auslegung der Aufbau- und Verbindungstechnik starke Signalschwankungen aufgrund mechanischer Belastung aufweisen. Grund dafür ist die hohe Sensitivität der kapazitiven Silizummembranen sowohl gegenüber Änderungen des Umgebungsdrucks als auch gegenüber mechanischen Spannungen im darunter liegenden Chipsubstrat. Durch Schleifprozesse lässt sich ein Siliziumsensor bis auf wenige Hundertstel Millimeter dünnen und so flexibilisieren und durch Plasmaätzen mit Grabenstrukturen versehen, die Bereiche größter Dehnung abseits der drucksensitiven Membranen definieren. Diese Maßnahmen verringern die Empfindlichkeit der Membranstrukturen auf unerwünschte Einflüsse und können sie sogar vollständig eliminieren.

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
• Lehrstuhl und Institut für Hochfrequenztechnik [613110]