Application oriented nano-patterning methods based on the liquid transfer imprint lithography

Kim, Jung Wuk; Kurz, Heinrich (Thesis advisor); Mokwa, Wilfried (Thesis advisor)

1. Aufl.. - München : Hut (2015)
Doktorarbeit

In: Ingenieurwissenschaften
Seite(n)/Artikel-Nr.: IV, 139 S. : Ill., graph. Darst.

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014

Kurzfassung

online nicht verfügbar

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Halbleitertechnik und Institut für Halbleitertechnik [616210]
  • Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]

Identifikationsnummern