Low-cost technology for photolithography on convex surfaces

Franitza, Florian; Kosubek, Michael; Kremers, Tom; Rockenbach, Alexander; Mokwa, Wilfried

Aachen : Apprimus Wissenschaftsverlag (2014)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Smart Systems Integration 2014 / Hrsg.: Thomas Gessner
Seite(n)/Artikel-Nr.: 471-474

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]