Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der Pulmonalarterie

Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Kordas, Norbert; Lerch, Renee; Müntjes, Jutta A.; Kraft, Michael; Mokwa, Wilfried

Berlin [u.a.] : VDE-Verl. (2013)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Von Bauelementen zu Systemen : Mikrosystemtechnik Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen : Proceedings / Veranst.: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... Organisatoren: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) ... Chairman: Wilfried Mokwa ...
Seite(n)/Artikel-Nr.: 169-172

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]