Concept of the PaTra - particle transporter with Simulated Particle movement

Rockenbach, Alexander; Brücker, Christoph; Schnakenberg, Uwe

Berlin [u.a.] : VDE-Verl. (2012)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops 12. - 13. November 2012 in Berlin / Tagungsleiter: Martin Hoffmann. Veranstalter: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem-und Feinwerktechnik (GMM)
Seite(n)/Artikel-Nr.: 12 S.

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]