Design optimization for electroplated micro-springs

Leuerer, T.; Krüger, C.; Fritz, T.; Mokwa, Wilfried; Schnakenberg, Uwe

Dresden : Verl. ddp Goldenbogen (2000)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Proceedings / 3. International Conference and Poster Exhibition Micro Materials, MicroMat 2000, April 17 - 19, 2000, Berlin, Germany / organizers: IZM, Fraunhofer Institute for Reliabilty and Microintegration, Berlin ... Eds.: B. Michel ...
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Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]