Platform for Temporary Testing of Hybrid Microsystems at High Frequencies

Spanier, Gerd; Krüger, Clemens; Schnakenberg, Uwe; Mokwa, Wilfried

New York, NY : IEEE (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of microelectromechanical systems
Band: 16
Heft: 6
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1367-1376

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]