Reactively sputtered iridium oxide - Influence of plasma excitation and substrate temperature on morphology, composition, and electrochemical characteristics

Wessling, Börge; Besmehn, Astrid; Mokwa, Wilfried; Schnakenberg, Uwe

Pennington, NJ : Electrochemical Society (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of the Electrochemical Society : JES
Band: 154
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 83-89

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]