Production processes and applications for the passive alignment of microcomponents

Brecher, Christian; Lange, Sven Carsten; Peschke, Christian; Weinzierl, Martin; Spanier, G.; Mokwa, Wilfried

Berlin [u.a.] : Springer (2006)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Microsystem technologies
Band: 12
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 611-615

Einrichtungen

  • Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie - IPT [053200]
  • Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]

Identifikationsnummern