Production processes and applications for the passive alignment of microcomponents
Brecher, Christian; Lange, Sven Carsten; Peschke, Christian; Weinzierl, Martin; Spanier, G.; Mokwa, Wilfried
Berlin [u.a.] : Springer (2006)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel
In: Microsystem technologies
Band: 12
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 611-615
Einrichtungen
- Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie - IPT [053200]
- Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1007/s00542-006-0094-2
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-033248