Theoretical calculations and performance results of a PZT thin film actuator

Hoffmann, Marcus; Küppers, Hartmut Paul; Schneller, Theodor; Böttger, Ulrich; Schnakenberg, Uwe; Mokwa, Wilfried; Waser, Rainer

New York, NY : IEEE (2003)
Fachzeitschriftenartikel

In: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control : UFFC
Band: 50
Heft: 10
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1240-1246

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]