Polysilicon sacrificial layer etching using ClF3 for thin film encapsulation of silicon acceleration sensors with high aspect ratio

Metzger, Lars; Fischer, Frank; Mokwa, Wilfried

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2007)
Fachzeitschriftenartikel

In: Sensors and actuators / A, Physical
Band: 133
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 259-265

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]