Electrodeposition and properties of NiW films for MEMS application

Slavcheva, Evelina; Mokwa, Wilfried; Schnakenberg, Uwe

New York, NY [u.a.] : Elsevier (2005)
Fachzeitschriftenartikel

In: Electrochimica acta
Band: 50
Heft: 28
Seite(n)/Artikel-Nr.: 5573-5580

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]