Iridium oxide deposited by pulsed dc-sputtering for stimulation electrodes
van Ooyen, André; Topalov, Georgi; Ganske, Gerald; Mokwa, Wilfried; Schnakenberg, Uwe
Bristol : IOP Publ. (2009)
Fachzeitschriftenartikel
In: Journal of micromechanics and microengineering
Band: 19
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 074009
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1088/0960-1317/19/7/074009
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-013783