High temperature pressure sensor with monolithically integrated CMOS readout circuit based on SIMOX technology

Kasten, K.; Kordas, N.; Kappert, H.; Mokwa, Wilfried

Berlin [u.a.] : Springer (2001)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Transducers '01/Eurosensors XV : digest of technical papers / the 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, June 10 - 14, 2001, Munich, Germany. [Ernst Obermeier, general chairman]
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Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]