A new concept and first development results of a PZT thin film actuator

Hoffmann, Marcus; Küppers, Hartmut Paul; Schneller, Theodor; Böttger, Ulrich; Schnakenberg, Uwe; Mokwa, Wilfried; Waser, Rainer

Piscataway, NJ : IEEE Operations Center (2001)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Proceedings of the 2000 12th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, ISAF 2000 : Honolulu, Hawaii, U.S.A., July 21 - August 2, 2000 / Institute of Electrical and Electronics Engineers, Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Society. Ed.: S. K. Streiffer ... - Vol. 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 512-524

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik II und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611610]