PZT thin films for piezoelectric micro-actuator applications

Küppers, Hartmut Paul; Leuerer, Timm; Schnakenberg, Uwe; Mokwa, Wilfried; Hoffmann, M.; Schneller, Theodor; Böttger, Ulrich; Waser, Rainer

Berlin [u.a.] : Springer (2001)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Transducers '01/Eurosensors XV : digest of technical papers / the 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, June 10 - 14, 2001, Munich, Germany. [Ernst Obermeier, general chairman]. - Vol. 2: Sessions 3A1 - 4D3. Papers 3A1.01 - 4D3.16P
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1018-1021

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik I und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611510]
• Lehrstuhl für Werkstoffe der Elektrotechnik II und Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik [611610]