Zentrallabor für Mikro-und Nanotechnologie am Walter-Schottky-Haus

Technische Ausstattung
Außenansicht des Gebäudes Urheberrecht: © IWE 1
Mittelgang im Reinraumbereich Urheberrecht: © IWE 1
Ofen und Fotolack-Schleuder Urheberrecht: © IWE 1
Wafer-Belichtungsanlage Urheberrecht: © IWE 1
Galvanik-Becken Urheberrecht: © IWE 1
Geöffneter Elektronenstrahl-Verdampfer Urheberrecht: © IWE 1
Kathodenzerstäubungs-/Sputter-Anlage 1 Urheberrecht: © IWE 1
Kathodenzerstäubungs-/Sputter-Anlage 2 Urheberrecht: © IWE 1
Plasma-Ätzanlage Urheberrecht: © IWE 1
Profilometer Urheberrecht: © IWE 1
Parylen-Beschichtungsanlage Urheberrecht: © IWE 1
 
Labor Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie
Ort RWTH Aachen Universität
Otto-Blumenthal-Str. 4
52074 Aachen
Raumverantwortliche Birger Berghoff, Jochen Heiss, Frank Jessen

Kontakt

Jochen Heiss © Urheberrecht: IWE1

Name

Jochen Heiss

Technischer Leiter des ZMNT

Telefon

work
+49 241 80 23238

E-Mail

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